UNE-EN 62047-1:2016 (Ratificada)

Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 1: Términos y definiciones (Ratificada por AENOR en mayo de 2016.)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (Endorsed by AENOR in May of 2016.)

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 1: Termes et définitions