UNE-EN 62047-1:2006 (Ratificada)

Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 1: Términos y definiciones (IEC 62047-1:2005) (Ratificada por AENOR en septiembre de 2006.)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 1: Termes et définitions