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Norma
ISO 14701:2018

ISO 14701:2018

Surface chemical analysis -- X-ray photoelectron spectroscopy -- Measurement of silicon oxide thickness

Analyse chimique des surfaces -- Spectroscopie de photoélectrons par rayons X -- Mesurage de l'épaisseur d'oxyde de silicium

Fecha:
2018-10-31 / Vigente
Comité:
ISO/TC 201/SC 7 - Electron spectroscopies
Relación con otras normas ISO:

Anula a: ISO 14701:2011

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