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Norma
IEC 62047-10:2011

IEC 62047-10:2011

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials

Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS

Fecha:
2011-07-26 /Vigente
Resumen (inglés):
IEC 62047-10:2011 specifies micro-pillar compression test method to measure compressive properties of MEMS materials with high accuracy, repeatability, and moderate effort of specimen fabrication. The uniaxial compressive stress-strain relationship of a specimen is measured, and the compressive modulus of elasticity and yield strength can be obtained. This standard is applicable to metallic, ceramic, and polymeric materials. The contents of the corrigendum of February 2012 have been included in this copy.
Resumen (francés):
La CEI 62047-10:2011 spécifie une méthode d'essai de compression utilisant la technique des micro-piliers destinée à mesurer les propriétés de compression des matériaux des MEMS avec une précision et une répétabilité élevées et un effort modéré pour la fabrication des éprouvettes. La relation contrainte-déformation de compression uniaxiale d'une éprouvette est mesurée ce qui permet ainsi d'obtenir le module de compression et la limite d'élasticité. La présente norme est applicable aux matériaux métalliques, céramiques, et en polymères. Le contenu du corrigendum de février 2012 a été pris en considération dans cet exemplaire.

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