UNE-EN 62047-21:2014 (Ratificada)

Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 21: Método de ensayo para la relación de Poisson de materiales MEMS de película delgada (Ratificada por AENOR en noviembre de 2014.)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials (Endorsed by AENOR in November of 2014.)

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 21: Méthode d'essai relative au coefficient de Poisson des matériaux MEMS en couche mince (Entérinée par l’AENOR en novembre 2014.)