UNE-EN 62047-9:2011 (Ratificada)

Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 9: Medida de la resistencia de la unión oblea a oblea para NEMS. (Ratificada por AENOR en junio de 2012.)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 9: Wafer to wafer bonding strength measurement for MEMS (Endorsed by AENOR in June of 2012.)

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 9: Mesure de la résistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS (Entérinée par l’AENOR en juin 2012.)