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Norma
UNE-EN 62047-12:2011 (Ratificada)

UNE-EN 62047-12:2011 (Ratificada)

Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 12: Método de ensayo de fatiga al doblado de materiales de película fina utilizando vibración resonante de las estructuras MEMS. (Ratificada por AENOR en febrero de 2012.)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (Endorsed by AENOR in February of 2012.)

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 12: Méthode d'essai de fatigue en flexion des matériaux en couche mince utilisant les vibrations à la résonance des structures à systèmes microélectromécaniques (MEMS) (Entérinée par l’AENOR en février 2012.)

Fecha ratificación:
2012-02-01
Equivalencias internacionales:

EN 62047-12:2011 (Idéntico)

IEC 62047-12:2011 (Idéntico)

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