UNE-EN 62047-11:2013 (Ratificada)

Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 11: Método de ensayo para coeficientes de expansión térmica lineales de materiales MEMS independientes (Ratificada por AENOR en noviembre de 2013.)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems (Endorsed by AENOR in November of 2013.)

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 11: Méthode d'essai pour les coefficients de dilatation thermique linéaire des matériaux autonomes pour systèmes microélectromécaniques (Entérinée par l’AENOR en novembre 2013.)