UNE-EN 62047-13:2012 (Ratificada)

Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 13: Métodos de medición del ensayo tipo de resistencia adhesiva al curvado y cizallamiento para estructuras MEMS (Ratificada por AENOR en junio de 2012.)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: Bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures (Endorsed by AENOR in June of 2012.)

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 13: Méthodes d'essais de types courbure et cisaillement de mesure de la résistance d'adhérence pour les structures MEMS (Entérinée par l’AENOR en juin 2012.)