UNE-EN 62047-10:2011 (Ratificada)

Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 10: Ensayo de compresión de los micropilares en materiales MEMS. (Ratificada por AENOR en diciembre de 2011.)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials (Endorsed by AENOR in December of 2011.)

Dispositifs à semiconducteur - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 10: Essai de compression utilisant la technique des micro-piliers pour les matériaux des MEMS (Entérinée par l’AENOR en décembre 2011.)