UNE-EN 62047-3:2006 (Ratificada)

Dispositivos semiconductores. Parte 3: Dispositivos micro-electromecánicos. Pieza de ensayo patrón de película fina para ensayo de tensión (IEC 62047-3:2006) (Ratificada por AENOR en enero de 2007.)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing (IEC 62047-3:2006) (Endorsed by AENOR in January of 2007.)

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques -- Partie 3: Eprouvette d'essai normalisée en couche mince pour l'essai de traction (CEI 62047-3:2006) (Entérinée par l’AENOR en janvier 2007.)