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Norma
ISO/TS 20175:2018

ISO/TS 20175:2018

Vacuum technology — Vacuum gauges — Characterization of quadrupole mass spectrometers for partial pressure measurement

Technique du vide — Manomètres à vide — Description des spectromètres de masse quadripolaires pour mesurage de la pression partielle

Fecha:
2018-05-03 / Published
Comité:
ISO/TC 112 - Vacuum technology

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