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Norma
ISO 18516:2019

ISO 18516:2019

Surface chemical analysis — Determination of lateral resolution and sharpness in beam based methods with a range from nanometres to micrometres

Analyse chimique des surfaces — Détermination de la résolution latérale et de la netteté par des méthodes à base de faisceau utilisant une gamme allant des nanomètres aux micromètres

Fecha:
2019-01-14 / Published
Comité:
ISO/TC 201/SC 2 - General procedures
Relación con otras normas ISO:

Anula a: ISO 18516:2006

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