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Norma
ISO 16531:2013

ISO 16531:2013

Surface chemical analysis -- Depth profiling -- Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS

Analyse chimique des surfaces -- Profilage d'épaisseur -- Méthodes d'alignement du faisceau d'ions et la mesure associée de densité de courant ou de courant pour le profilage d'épaisseur en AES et XPS

Fecha Anulación:
2020-10-05 / Anulada
Comité:
ISO/TC 201/SC 4 - Depth profiling
Relación con otras normas ISO:

Es anulada por: ISO 16531:2020

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