ISO 16413:2013
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
Évaluation de l'épaisseur, de la densité et de la largeur de l'interface des films fins par réflectrométrie de rayons X — Exigences instrumentales, alignement et positionnement, rassemblement des données, analyse des données et rapport