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Norma
ISO 14701:2011

ISO 14701:2011

Surface chemical analysis -- X-ray photoelectron spectroscopy -- Measurement of silicon oxide thickness

Analyse chimique des surfaces -- Spectroscopie de photoélectrons par rayons X -- Mesurage de l'épaisseur d'oxyde de silicium

Fecha Anulación:
2018-10-31 / Anulada
Comité:
ISO/TC 201/SC 7 - Electron spectroscopies
Relación con otras normas ISO:

Es anulada por: ISO 14701:2018

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