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Norma
ISO/TR 19319:2013

ISO/TR 19319:2013

Surface chemical analysis -- Fundamental approaches to determination of lateral resolution and sharpness in beam-based methods

Analyse chimique des surfaces -- Approche fondamentale pour la détermination de la résolution latérale et de la netteté par des méthodes à base de faisceau

Fecha:
2013-03-06 / Vigente
Comité:
ISO/TC 201/SC 2 - General procedures
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