ISO 13083:2015

Surface chemical analysis — Scanning probe microscopy — Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes

Analyse chimique des surfaces - Microscopie à sonde à balayage - Normes sur la définition et l'étalonnage de la résolution spatiale des microscopes électriques à sonde à balayage (ESPMs) comme SSRM et SCM pour l'imagerie 2D-dopant et d'autres fins