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Norma
ISO 13083:2015

ISO 13083:2015

Surface chemical analysis -- Scanning probe microscopy -- Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes

Analyse chimique des surfaces - Microscopie à sonde à balayage - Normes sur la définition et l'étalonnage de la résolution spatiale des microscopes électriques à sonde à balayage (ESPMs) comme SSRM et SCM pour l'imagerie 2D-dopant et d'autres fins

Fecha:
2015-08-20 / Vigente
Comité:
ISO/TC 201/SC 9 - Scanning probe microscopy

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