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Norma
ISO 12406:2010

ISO 12406:2010

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth profiling of arsenic in silicon

Analyse chimique des surfaces -- Spectrométrie de masse des ions secondaires -- Dosage de l'arsenic dans le silicium par profilage d'épaisseur

Fecha:
2010-11-08 / Vigente
Comité:
ISO/TC 201/SC 6 - Secondary ion mass spectrometry

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