ISO 25178-603:2013

Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 603: Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy) instruments

Spécification géométrique des produits (GPS) — État de surface: Surfacique — Partie 603: Caractéristiques nominales des instruments sans contact (microscopes interférométriques à glissement de franges)