ISO 14701:2018

Surface chemical analysis — X-ray photoelectron spectroscopy — Measurement of silicon oxide thickness

Analyse chimique des surfaces — Spectroscopie de photoélectrons par rayons X — Mesurage de l'épaisseur d'oxyde de silicium

Fecha:

2018-10-31 / Published

ICS:

Comité:

ISO/TC 201/SC 7 - Electron spectroscopies

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